材料技術研究所

Materials R&D Lab

機能性材料グループ

創エネ・省エネを支える分離膜開発と次世代半導体の解析・評価

 1)分子サイズに合わせて細孔径を制御することで高選択かつ高効率でガスを分離する膜合成技術と 2)高性能次世代パワーデバイス用新材料であるワイドバンドギャップ半導体の結晶性を高精度かつ短時間で評価解析する技術を研究しています。

 1)の分離膜では光触媒による水分解によって生成したH2とO2を安全且つ高効率で分離するための膜開発、2)の半導体評価解析ではエッチング・回折(X線・電子)・分光(発光・ラマン)を利用し、欠陥-特に転位-を結晶全面で簡易に検出・分類する技術を開発しています。

1)目標とする水素分離膜の構造例
2)半導体の評価解析技術の適用方法
職名 氏名 学位 担当分野
グループ長
主席研究員

いしかわゆかり

石川 由加里

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博士 (工学) 薄膜プロセス技術、薄膜特性評価
主任研究員

ながのたかゆき

永野 孝幸

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博士 (工学) セラミック材料の気相合成とガス透過特性評価
上級技師

さとうこうじ

佐藤 功二

1級技能士 プロセス技術、プロセス全般
上級研究員

やおよんちゃお

姚 永昭

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博士 (工学) 薄膜プロセス

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